Книга Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел
Анатолий Вяткин
- Автор: Анатолий Вяткин
- Жанр: Материаловедение, Прочая образовательная литература
- Год издания: 2001
- Издательство: МИСиС
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.